Current Project (현재 프로젝트)

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EUV pellicle 분석기술 개발, 2022-2025, (주)에프에스티

EUV PR 소재의 광 반응 mechanism 연구, 2022-2023, SAIT(삼성종합기술원)

EUV용 흡수/투과 소재의 광학적 라이브러리 구축, 2020-2024, 과학기술정보통신부, 소재혁신선도프로젝트

총괄과제: 5nm급 이하 반도체 노광 공정용 EUV 흡수 및 투과 소재 기술 개발

High-resolution EUV 노광 공정을 위한 포토레지스트 후보 반응기 개발, 2022-2024, 산업통상자원부, 미래반도체소자기술개발사업

1.5nm 노드급 해상도 EUV 리소그래피 복합 성능 평가 기술 및 EUV 평가 기술 개발, 2022-2026, 과학기술정보통신부, 국가핵심소재연구단

극자외선 리소그래피 (EUVL)용 레지스트 및 적용공정 개발, 2021-2024, 삼성미래기술육성센터

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Completed Project (완료 프로젝트)

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광민감성 소재의 극자외선 광반응 메커니즘 분석 연구, 2021-2022, 삼성종합기술원

UHP급 인조흑연 전극봉 제조 공정 기술 개발,  2020-2021, 산업통상자원부

반도체 검사용 EUV 광원 및 장비 기술개발사업, 2020-2022, 한국연구재단, 과학기술정보통신부

나노구조 분석용 와이드뷰 3차원 엑스레이 비전 장비 개발, 2018-2022, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부

애너모픽 고개구수 극자외선 노광공정용 마스크 패턴 계측 기술 개발, 2017-2021,산업통상자원부

다차원 소재 정보 추출을 위한 

30nm급 엑스선 Large FOV computed tomography 연구장비용 4D 영상처리 솔루션개발, 2019-2020, 경상북도

나노 소재 구조 분석을 위한 3차원 영상 처리 및 segmentation 기술 개발, 2019, 경상북도

고해상도 엑스선 시간 분해 분광 이미징을 이용한 리튬 배터리의 실시간 충방전 메커니즘 규명, 2017-2020, 신진연구자지원사업, 한국연구재단

Extreme UV(EUV) 및 Beyond EUV 리소그래피에 특화된, 자유 라디칼 반응에 기반한 초고해상도 포토레지스트 "hybrid-CAR"의 합성 및 성능 평가 시스템 개발, 2017-2020, 삼성미래기술육성센터

X-ray 현미경 활용 슬라브 내 Ti/Nb/V 탄질화물 정량 분석 기술 개발, 포스코, 2018-2019

극자외선 리소그래피용 포토레지스트의 노광 특성 평가, 2018-2019, LG화학

공장 자동화 장비를 위한 고해상도 엑스선 CT 장비 사업, 2018, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부

엑스선의 3차원 위치 추적을 통한 나노미터 해상도의 극한 분석용 인라인 광원 안정화 장치 개발, 2017-2019, 연구성과실용화진흥원 / 과학기술정보통신부

초고해상도 엑스선나노CT를 이용한 시냅스의 3차원 영상화, 2017-2019, 중견연구자지원사업, 한국연구재단

3차원 나노 이미징을 통한 공정 개재물의 성분 및 분포 분석 연구, 2017-2018, 포스코

철강 소재 및 공정 분석에서의 방사광 가속기 활용기반 구축, STS, 2017-2018, 포스코

산업체 과제 (X-ray imaging), 2017-2018, LG화학

산업체 과제 (X-ray imaging), 2016-2017, LG화학

반도체용 웨이퍼 및 디스플레이 패널용 레이저 세정 메커니즘 분석 및 공정 기술 개발, 2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부 

실시간 고해상도 엑스선 3차원 이미지 분석 소프트웨어 개발, 2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부 

산업체 과제 (X-ray imaging), 2015-2016, LG화학