Nanoscale Imaging

EUV Lithography

- Actinic metrology and inspection

- EUV synchrotron infrastructure

X-ray imaging

- In-operando X-ray nanoscale imaging and analysis

X-RAY IMAGING AND SOLUTION

소재 내부 구조를 3차원 분석하고 정량 분석하는

나노스케일 이미징 기술 개발

Nano-scale phase contrast tomography, X-ray optics, High precision analysis method

EUV LITHOGRAPHY

국내 유일의 고휘도 방사광 EUV 광원 및 평가 인프라 활용 연구

EUV 레지스트, 펠리클, 마스크, 반도체 공정 분석 평가 연구

EUV metrology & inspection

Synchrotron based EUV infrastructure

EUV resist patterning

Actinic pellicle, mask metrology

배터리 내부 구조를 3차원 분석하고 화학 성분을 가시화 하는 빅데이터 이미징 기술 개발

Nano-scale X-ray imaging solution

Spectroscopic X-ray imaging (XANES, XRF imaging)

Synchrotron based analysis for battery materials & system

Method(X-ray imaging, HRPD, Soft X-ray spectroscopy)