
NEXT LAB
NANO-IMAGING FOR EUV AND X-RAY TECHNOLOGY RESEARCH GROUP
Advanced Imaging and Patterning Research
I. Nano-scale Spectral Imaging
II. EUV Lithography
III. Multi-scale X-ray Imaging

SANGSUL LEE
Principle Investigator, Ph.D
Advanced Imaging and patterning technology
PAL, POSTECH
2015년 5월 - 현재
Senior scientist, Conj. Professor
Research Interest: Advanced Imaging & Patterning (EUV Lithography)
XAVISOPTICS, LTD.
2018년 7월 - 현재
CTO
Ultra high-resolution X-ray microscopy and imaging solution
KOSUA
2016 - 2019
Board of director
Lithography, Korean Synchrotron Radiation User's Association
(사)한국사광이용자협회
PSI, SWITZERLAND
2012년 - 2015년 5월
Research Scientist
Swiss Light Source, Laboratory of Micro and Nanotechnology, Paul Scherrer Institute, ETH-domain
HANYANG UNIVERSITY
2009년 - 2012년
Research Professor
Department of Electronic Engineering
Information Display Research Institute
EUV-IUCC, 국가연구개발협의체 (N-TEAM)
참여교원, Guest Professor
EUV Lithography 소재 특성 평가
2019년 11월 -현재
RESEARCH PROJECT
X-ray imaging, EUV Lithography



BATTERY IMAGING
Nano-scale X-ray imaging solution
Spectroscopic X-ray imaging (XANES, XRF imaging)
Synchrotron based analysis for battery materials & system
Method(X-ray imaging, HRPD, Soft X-ray spectroscopy)
X-RAY IMAGING AND SOLUTION
Nano-scale phase contrast tomography
X-ray optics
High precision analysis method
EUV LITHOGRAPHY
EUV metrology & inspection
Synchrotron based EUV infrastructure
EUV resist
EUV pellicle
Actinic blank inspection
Actinic patterned mask inspection
Project list
EUV용 흡수/투과 소재의 광학적 라이브러리 구축 (소재혁신선도프로젝트)
총괄과제: 5nm급 이하 반도체 노광 공정용 EUV 흡수 및 투과 소재 기술 개발
2020-2024, 한국연구재단, 과학기술정보통신부
UHP급 인조흑연 전극봉 제조 공정 기술 개발
2020-2024, 산업통상자원부
반도체 검사용 EUV 광원 및 장비 기술개발사업
2020-2022, 한국연구재단, 과학기술정보통신부
나노구조 분석용 와이드뷰 3차원 엑스레이 비전 장비 개발
2018-2022, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부
애너모픽 고개구수 극자외선 노광공정용 마스크 패턴 계측 기술 개발
2017-2021,산업통상자원부
다차원 소재 정보 추출을 위한 30nm급 엑스선 Large FOV computed tomography 연구장비용 4D 영상처리 솔루션개발
2019-2020, 경상북도
나노 소재 구조 분석을 위한 3차원 영상 처리 및 segmentation 기술 개발
2019, 경상북도
고해상도 엑스선 시간 분해 분광 이미징을 이용한 리튬 배터리의 실시간 충방전 메커니즘 규명
2017-2020, 신진연구자지원사업, 한국연구재단
Extreme UV(EUV) 및 Beyond EUV 리소그래피에 특화된, 자유 라디칼 반응에 기반한 초고해상도 포토레지스트 "hybrid-CAR"의 합성 및 성능 평가 시스템 개발
2017-2020, 삼성미래기술육성센터
X-ray 현미경 활용 슬라브 내 Ti/Nb/V 탄질화물 정량 분석 기술 개발
포스코, 2018-2019
극자외선 리소그래피용 포토레지스트의 노광 특성 평가
2018-2019, LG화학
공장 자동화 장비를 위한 고해상도 엑스선 CT 장비 사업
2018, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부
엑스선의 3차원 위치 추적을 통한 나노미터 해상도의 극한 분석용 인라인 광원 안정화 장치 개발
2017-2019, 연구성과실용화진흥원 / 과학기술정보통신부
초고해상도 엑스선나노CT를 이용한 시냅스의 3차원 영상화
2017-2019, 중견연구자지원사업, 한국연구재단
3차원 나노 이미징을 통한 공정 개재물의 성분 및 분포 분석 연구
2017-2018, 포스코
철강 소재 및 공정 분석에서의 방사광 가속기 활용기반 구축, STS
2017-2018, 포스코
산업체 과제 (X-ray imaging)
2017-2018, LG화학
산업체 과제 (X-ray imaging)
2016-2017, LG화학
반도체용 웨이퍼 및 디스플레이 패널용 레이저 세정 메커니즘 분석 및 공정 기술 개발
2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부
실시간 고해상도 엑스선 3차원 이미지 분석 소프트웨어 개발
2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부
산업체 과제 (X-ray imaging)
2015-2016, LG화학
PEOPLE
Sangsul Lee
NEXT is a X-ray nano imaging research group providing insights of nanoimaging and nanolithography.
Our most mature interests are diffractive X-ray optics and imaging technology but we offer also insights of materials by the 3D imaging and synchrotron analytical techniques.
CURRENT MEMBER
Dr. Jitendra Pal Singh / Senior research scientist, Jitendra2029 at postech.ac.kr
Dr. Jong-Won Lee / Postdoc scientist, ljwstar00 at postech.ac.kr
Dr. Geonhwa Kim / Postdoc scientist, geonhwa at postech.ac.kr
Dr. Yeseul Kim / Postdoc scientist, kimyeseul at postech.ac.kr
Dr. Jiho Kim / Postdoc scientist, jihokim at postech.ac.kr
Dr. Anil Kumar Paidi / Postdoc scientist, anilkpaidi at postech.ac.kr
Kanghyun Kim / PhD student, qwnerkang at postech.ac.kr
Yeji Lee / Technical researcher, yejilee at postech.ac.kr
Gwiyoung Shin / Administrative staff, skyyy at postech.ac.kr
Jinhee Jeong / Technical Staff of Xavisoptics
Jaeyeon Choi / Technical Staff of Xavisoptics
Member of joint collaboration
Dr. Docheon Ahn, Battery
Dr. Byeong-Gyu Park, EUV & soft X-ray
Dr. Jangwoo Kim, EUV & optic
Alumni
Dr. I Lee, ESOL
Dr. D Woo, Samsung electronics
Dr. JY Park, KAERI
Y Roh, GIST
Dr. IH Kwon, KAERI
산학연공동연구법인 (주)자비스옵틱스
XAVISOPTICS
고해상도 엑스선 현미경 연구장비 국산화 개발
대면적 CT
Large FOV
나노스케일 엑스선 광학계 원천 기술
nanometer scale resolution
~ 300 micrometer FOV
High speed X-ray tomography
이미징 솔루션
XANES, XRF
배터리 성분 분석 이미징
소재 성분 분석 이미징
고해상도 엑스선 3차원 분석 솔루션
인공지능 토모그래피 솔루션
X-RAY OPTICS
X-ray optics solution
X-ray optic system design
Phase contrast imaging
Precision X-ray detecting system
X-ray imaging system
Open position
Currently we are hiring 3 postdocs, 2 research staffs
PAL, POSTECH
Post doctor : X-ray imaging, EUV Lithography, Battery imaging
Researcher : Lab technician (실험 및 연구 개발, 기계 기구, 소프트웨어)
Xavisoptics
정규직원 (연구직, 기술직) 채용 중 (연구개발전담부서)
장비개발, 제어, 전기, 기계 기구, 소프트웨어 분야