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NEXT LAB


NANO-IMAGING FOR EUV AND X-RAY TECHNOLOGY RESEARCH GROUP

Advanced Imaging and Patterning Research

I. Nano-scale Spectral Imaging

II. EUV Lithography

III. Multi-scale X-ray Imaging

 
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SANGSUL LEE

Principle Investigator, Ph.D
Advanced Imaging and patterning technology

PAL, POSTECH

2015년 5월 - 현재

Senior scientist, Conj. Professor
Research Interest: Advanced Imaging & Patterning (EUV Lithography)

XAVISOPTICS, LTD.

2018년 7월 - 현재

CTO
Ultra high-resolution X-ray microscopy and imaging solution

KOSUA

2016 - 2019

Board of director

Lithography, Korean Synchrotron Radiation User's Association

(사)한국사광이용자협회

PSI, SWITZERLAND

2012년 - 2015년 5월

Research Scientist
Swiss Light Source, Laboratory of Micro and Nanotechnology, Paul Scherrer Institute, ETH-domain

HANYANG UNIVERSITY

2009년 - 2012년

Research Professor

Department of Electronic Engineering

Information Display Research Institute

EUV-IUCC, 국가연구개발협의체 (N-TEAM)

참여교원, Guest Professor
EUV Lithography 소재 특성 평가

2019년 11월 -현재

 

RESEARCH PROJECT

X-ray imaging, EUV Lithography

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BATTERY IMAGING

Nano-scale X-ray imaging solution
Spectroscopic X-ray imaging (XANES, XRF imaging)
Synchrotron based analysis for battery materials & system
Method(X-ray imaging, HRPD, Soft X-ray spectroscopy)

X-RAY IMAGING AND SOLUTION

Nano-scale phase contrast tomography
X-ray optics
High precision analysis method

EUV LITHOGRAPHY

EUV metrology & inspection
Synchrotron based EUV infrastructure
EUV resist
EUV pellicle
Actinic blank inspection
Actinic patterned mask inspection

Project list

EUV용 흡수/투과 소재의 광학적 라이브러리 구축 (소재혁신선도프로젝트)

총괄과제: 5nm급 이하 반도체 노광 공정용 EUV 흡수 및 투과 소재 기술 개발

2020-2024, 한국연구재단, 과학기술정보통신부

UHP급 인조흑연 전극봉 제조 공정 기술 개발

2020-2024, 산업통상자원부

반도체 검사용 EUV 광원 및 장비 기술개발사업

2020-2022, 한국연구재단, 과학기술정보통신부

나노구조 분석용 와이드뷰 3차원 엑스레이 비전 장비 개발

2018-2022, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부

애너모픽 고개구수 극자외선 노광공정용 마스크 패턴 계측 기술 개발

2017-2021,산업통상자원부

다차원 소재 정보 추출을 위한 

30nm급 엑스선 Large FOV computed tomography 연구장비용 4D 영상처리 솔루션개발

2019-2020, 경상북도

나노 소재 구조 분석을 위한 3차원 영상 처리 및 segmentation 기술 개발

2019, 경상북도

고해상도 엑스선 시간 분해 분광 이미징을 이용한 리튬 배터리의 실시간 충방전 메커니즘 규명

2017-2020, 신진연구자지원사업, 한국연구재단

Extreme UV(EUV) 및 Beyond EUV 리소그래피에 특화된, 자유 라디칼 반응에 기반한 초고해상도 포토레지스트 "hybrid-CAR"의 합성 및 성능 평가 시스템 개발

2017-2020, 삼성미래기술육성센터

X-ray 현미경 활용 슬라브 내 Ti/Nb/V 탄질화물 정량 분석 기술 개발

포스코, 2018-2019

극자외선 리소그래피용 포토레지스트의 노광 특성 평가

2018-2019, LG화학

공장 자동화 장비를 위한 고해상도 엑스선 CT 장비 사업

2018, 연구성과실용화진흥원, 과학기술정보통신부

엑스선의 3차원 위치 추적을 통한 나노미터 해상도의 극한 분석용 인라인 광원 안정화 장치 개발

2017-2019, 연구성과실용화진흥원 / 과학기술정보통신부

초고해상도 엑스선나노CT를 이용한 시냅스의 3차원 영상화

2017-2019, 중견연구자지원사업, 한국연구재단

3차원 나노 이미징을 통한 공정 개재물의 성분 및 분포 분석 연구

2017-2018, 포스코

철강 소재 및 공정 분석에서의 방사광 가속기 활용기반 구축, STS

2017-2018, 포스코

산업체 과제 (X-ray imaging)

2017-2018, LG화학

산업체 과제 (X-ray imaging)

2016-2017, LG화학

반도체용 웨이퍼 및 디스플레이 패널용 레이저 세정 메커니즘 분석 및 공정 기술 개발

2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부 

실시간 고해상도 엑스선 3차원 이미지 분석 소프트웨어 개발

2015-2016, 연구성과실용화진흥원 / 미래창조과학부 

산업체 과제 (X-ray imaging)

2015-2016, LG화학

 

PEOPLE

Sangsul Lee

NEXT is a X-ray nano imaging research group providing insights of nanoimaging and nanolithography.

Our most mature interests are diffractive X-ray optics and imaging technology but we offer also insights of materials by the 3D imaging and synchrotron analytical techniques. 

CURRENT MEMBER

Dr. Jitendra Pal Singh / Senior research scientist, Jitendra2029 at postech.ac.kr

Dr. Jong-Won Lee / Postdoc scientist, ljwstar00 at postech.ac.kr

Dr. Geonhwa Kim / Postdoc scientist, geonhwa at postech.ac.kr

Dr. Yeseul Kim / Postdoc scientist, kimyeseul at postech.ac.kr

Dr. Jiho Kim / Postdoc scientist, jihokim at postech.ac.kr

Dr. Anil Kumar Paidi / Postdoc scientist, anilkpaidi at postech.ac.kr

Kanghyun Kim / PhD student, qwnerkang at postech.ac.kr

Yeji Lee / Technical researcher, yejilee at postech.ac.kr

Gwiyoung Shin / Administrative staff, skyyy at postech.ac.kr

Jinhee Jeong / Technical Staff of Xavisoptics

Jaeyeon Choi / Technical Staff of Xavisoptics

Member of joint collaboration​

Dr. Docheon Ahn, Battery

Dr. Byeong-Gyu Park, EUV & soft X-ray

Dr. Jangwoo Kim, EUV & optic

Alumni

Dr. I Lee, ESOL

Dr. D Woo, Samsung electronics

Dr. JY Park, KAERI

Y Roh, GIST

Dr. IH Kwon, KAERI

 

​산학연공동연구법인 (주)자비스옵틱스

XAVISOPTICS

고해상도 엑스선 현미경 연구장비 국산화 개발

​대면적 CT

Large FOV ​

나노스케일 엑스선 광학계 원천 기술
nanometer scale resolution
~ 300 micrometer FOV
High speed X-ray tomography

이미징 솔루션

XANES, XRF

배터리 성분 분석 이미징

소재 성분 분석 이미징

고해상도 엑스선 3차원 분석 솔루션

인공지능 토모그래피 솔루션

X-RAY OPTICS

X-ray optics solution

X-ray optic system design

Phase contrast imaging

Precision X-ray detecting system

X-ray imaging system

 

Open position

Currently we are hiring 3 postdocs, 2 research staffs

PAL, POSTECH

Post doctor : X-ray imaging, EUV Lithography, Battery imaging

Researcher : Lab technician (실험 및 연구 개발, 기계 기구, 소프트웨어)

Xavisoptics

정규직원 (연구직, 기술직) 채용 중 (연구개발전담부서)

장비개발, 제어, 전기, 기계 기구, 소프트웨어 분야